本文将从技术原理、核心优势、应用场景及落地实践等方面，对该技术进行系统性解析。

一、先进工艺节点的检测挑战与技术缺口

当前半导体制造技术正经历关键变革：鳍式场效应晶体管逐步被全环绕栅极（GAA）纳米带晶体管替代，中段制程（MOL）因多重图形化技术的应用，堆叠复杂度持续增加。这一变革导致致命缺陷多隐匿于 3D 结构内部，传统光学检测手段难以有效识别。

同时，先进工艺节点的缺陷呈现显著的产品特异性，集中分布于特定工艺 - 版图组合的 “热点区域”，此类缺陷由芯片设计固有的版图特征引发，成为影响良率的核心因素。

行业面临的核心矛盾在于：电子束电压衬度检测是识别电学缺陷的关键技术，但传统电子束检测采用光栅扫描模式，效率远低于光学检测，无法匹配大批量生产的需求。DirectScan 技术的出现，为破解这一矛盾提供了可行路径。

二、DirectScan 核心技术架构：PointScan 的创新逻辑

DirectScan 检测方案由eProbe 电子束检测工具、FIRE GDS 版图分析平台及Exensio 大数据智能分析平台三大核心组件构成，其技术突破的核心在于PointScan 扫描技术对传统电子束检测逻辑的重构，主要体现在以下三方面：

1

设计感知驱动的靶向检测

传统电子束检测采用无差别光栅扫描，需覆盖包括介质区域在内的全部区域，且无法识别被测目标的图形特征；PointScan 技术具备非接触式电学测试特性，可精准跳转至目标器件的关键位置（如焊盘、接触点），仅对有效检测区域实施电压衬度检测，完全规避介质区域的无效扫描，实现 “按需检测”。

2

检测效率的量级提升

通过 FIRE 平台的精细化版图分析，可精准筛选出需检测的 “关键区域”，大幅缩减检测范围：

后段制程金属 3 层通孔检测：仅需扫描总可检测面积的 2.5%

中段制程栅极 - 漏极短路检测：仅需扫描总接触点的 1%

栅极残筋检测：可规避 50%-75% 的介质区域，检测面积缩减至传统方案的 10% 以下

基于上述优化，PointScan 技术的检测吞吐量可达传统单束电子束检测设备的 20-100 倍，每小时可完成数十亿个被测器件的扫描。

3

设计感知学习与属性分析能力

DirectScan 与 FIRE 平台的深度整合，可实现跨多层版图的属性提取，包括触点类型（漏极 / 栅极）、晶体管阈值电压、极性、与扩散区隔离槽的距离等关键参数。

eProbe 输出的 KLARF格式数据含专属属性识别码，可与版图特征精准匹配，工程师可直接计算特定属性或属性组合对应的缺陷率，快速定位高风险晶体管类型与版图设计方案，为工艺优化提供数据支撑。

三、高难度场景的应用突破

PointScan 技术的低电荷沉积特性，使其在传统电子束检测难以覆盖的场景中实现突破：

背侧供电网络（BSPDN）晶圆检测

键合晶圆形成的绝缘层会阻碍电荷传导，导致传统电子束检测出现电荷累积、电子束偏折与失焦问题；PointScan 技术大幅降低单位面积电荷沉积量，有效缓解上述问题，已完成实际应用验证。

3D DRAM检测

3D DRAM 的结构特性同样易引发电荷累积，此前检测难度较高，DirectScan 技术的应用使该类器件的精准检测成为可能。

DRAM 阵列短路检测

独有的可控 “充电 - 检测” 功能，可在指定位置施加电荷后跳转至目标区域采集电压衬度信号，使特定岛状节点呈现高亮状态，清晰识别与浮空相邻触点的短路问题，该功能为传统光栅扫描技术所不具备。

四、行业落地实践与全流程应用

自 2022 年初起，eProbe 检测系统已在多家先进逻辑芯片制造工厂落地，目前两套设备投入大批量生产，第三套设备处于产能爬坡阶段，应用场景覆盖半导体制造全流程：

先进逻辑芯片制造

中段制程：GAA 栅极 - 漏极短路、栅极接触孔开路、栅极外延层 / 硅化物层开路检测

后段制程：M0 层、1X 层、2X 层系统性接触孔开路与金属布线短路检测

背侧供电网络：电源通孔、源极 / 漏极通孔接触孔开路与短路检测

随机逻辑电路漏电情况评估

先进 DRAM 制造（2024-2025 年）

外围电路：栅极 - 栅极残筋短路、栅极 - 漏极短路、字线 - 字线短路与开路检测及缺陷定位

存储阵列：基于可控 “充电 - 检测” 技术的存储节点短路检测

技术总结

在半导体制程向更精密 3D 架构演进的背景下，检测技术的创新成为保障良率的关键。DirectScan 方案通过 PointScan 靶向扫描技术、设计感知分析能力与产品特异性缺陷学习功能的融合，在保留电子束检测高灵敏度的基础上，实现了检测吞吐量的量级提升，同时破解了高难度场景的检测难题。

该技术不仅解决了先进工艺节点下缺陷“难识别、难检测” 的问题，更推动半导体检测从 “缺陷识别” 向 “工艺优化赋能” 升级，为下一代半导体制造提供了核心技术支撑和全新路径。

　　板块方面，传媒、教育、医疗服务、景点及旅游、互联网电商等涨幅靠前，机场航运、中药、电力、燃气、厨卫电器等跌幅靠前；题材方面，混合现实、脑机接口、文化传媒等概念较为活跃。

《Basketball Classics》最初于2018年3月24日在PC（Steam）平台开启抢先体验，并于2019年12月18日发布正式版。PC版现也已登陆Microsoft Store。

Namo Gamo联合创始人David Pilkington在新闻稿中表示：“这是我们儿时的梦想。如今，历经近十年打造，《Basketball Classics》将面向全球的主机平台新玩家。感谢Acclaim让这个梦想成为现实。我们已迫不及待地想要推出续作《Super Basketball Classics》了。”

源自体育游戏黄金时代的5对5职业篮球。作为8位像素篮球游戏的精神续作，它架起了复古风格与现代模拟游戏之间的桥梁。横版卷轴视角，酣畅淋漓的街机式对抗，辅以简化的三键操作和无处不在的复古情怀。

横版卷轴街机动作与即时战术相结合。三键操作易于上手，但真正让这款游戏超越简单长传和花式动作的，是其动态的战术呼叫系统。属性丰富的球员构成了庞大的阵容。在数十年的球队资料中，发掘你钟爱的全明星球员，甚至能在沉浸式的故事模式中解锁“传奇”球员。

这款游戏是我们Namo Gamo独立开发者的心血之作。我们希望你能感受到倾注于每一个像素中的热爱，感受到对基于数据的游戏玩法进行的无数次调整，以及那份地道的复古音效与音乐。

　　始建于1925年的福建厦门中山路，一端深入城市商圈，另一端连着碧波大海，是厦门历史最悠久、人气最旺盛的商业街之一。今年春节假期，“两岸数智非遗年”系列活动在此上演。两岸同胞携手传承中华优秀传统文化，共创数智文旅新场景、新业态，用一场“科技+非遗”的文化盛宴，为老街带来浓浓年味。

　　活动一推出，中山路热度再次攀升，吸引游客纷至沓来。

　　打造沉浸场景

　　捏面人、吹糖人、传统大漆等技艺的现场展示，让市民游客近距离感受传统手艺；鱼灯天幕、巨型灯笼装置与花车巡游交相辉映——春节期间，位于厦门市思明区的中山路，一步一景，尽显闽南侨乡风韵与新春烟火气息。

　　“这个春节来厦门，太值了！”2月20日，农历正月初四下午，来自上海的游客陈女士一家刚踏入街区，便被热闹的场景吸引。这是陈女士一家首次来厦，恰逢这场特色文旅活动举办。

　　据了解，“两岸数智非遗年”系列活动期间，中山路推出10大主题、百余场活动，街区内设置两岸非遗市集，汇聚地道美食、民俗表演、科技产品展示等多元内容，为市民游客打造了一个沉浸式体验春节与历史文化的数智空间。

　　步入“元宇宙数字街区”体验区，市民游客只需通过手机扫描街面场景或租赁VR眼镜，即可沉浸式体验南洋侨批历史，近距离观赏漆线雕、珠绣等非遗技艺的制作过程，还能与陈化成、苏颂、郑成功等历史名人的数字化身互动，在虚拟与现实的交融中，触摸百年老街的历史肌理。来自新疆的游客李先生忍不住感叹：“近在眼前，十分震撼。”

　　融入前沿科技

　　骑楼变身露天剧场，新春光影秀流光溢彩，灯塔飘雪活动让鹭岛冬夜充满浪漫……本次活动通过3D建模、数字扫描、VR/AR、元宇宙、具身机器人等技术，让传统文化在数字时代焕发新光彩。

　　2月18日，正值农历正月初二，中山路侨批广场人头攒动，两岸数智非遗主题秀《科技艺阵》精彩首演。在现场近万名观众的注视下，“旺来”机器人艺术团16台人形机器人闪亮登场，与厦金宋江阵武者同台列阵；打鼓机器人与台湾鼓手同奏《艺阵雄风》，鼓点精准铿锵。

　　宋江阵作为闽台标志性非遗项目，起源于明末清初。本次展演以闽南民俗与阵法仪式为脉络，邀请来自台湾彰化的蝌蚪打击乐团加盟，融合了宋江阵、何厝小操队等多样元素。“人机共舞”的创新形式，也吸引大量市民游客驻足观赏，带动线上线下传播热度不断升高。

　　“将机器人元素融合进传统文化，有创新，又有年味，很有春节的气氛。”在厦台胞杨明勋说。

　　带动文化交流

　　文化同源，情牵两岸。

　　从来自金门的天震堂醒狮团与机器狗共舞，到厦台两地木偶艺人携霹雳木偶、掌中木偶、提线木偶等与智能机器人共同演出，再到两岸同胞围坐圆桌，聊家常、叙乡情、话未来，今年春节，“两岸数智非遗年”系列活动处处彰显着两岸“同根同源”的文化基因，用一个个鲜活场景，深化了情感共鸣。

　　“在游览百年骑楼、感受人文底蕴的过程中，沉浸式体验了非遗与AI技术深度融合的新春活动，真切感受到兼具传统韵味与科技巧思的别样年味。”首次在厦过年的台湾青年张希爱说。

　　思明区相关负责人表示，未来，中山路将持续依托厦门两岸融合发展示范区的区位优势，打造两岸同胞情感共鸣的“心家园”、文化认同的“新地标”，让百年老街不仅成为历史的见证者，更成为两岸文化赓续创新的“加速器”，在数智浪潮中书写两岸融合发展的新篇章。